可用于:ALD、PLD、MBE、半導(dǎo)體、科研
特點1.采用數(shù)字電流表準確顯示電流示數(shù)。2.設(shè)備配有臭氧濃度調(diào)節(jié)裝置(10*10刻度轉(zhuǎn)盤),可根據(jù)實際情況自由調(diào)節(jié)臭氧濃度。3.設(shè)備采用第八代HYE智能電暈放電臭氧發(fā)生技術(shù),使用智能鈦金納米石英材料,溫度低,濃度高,耐高壓、耐潮濕,抗腐蝕性強。產(chǎn)品可以在不同環(huán)境條件下穩(wěn)定工作。4.模塊化電路,體積?。环阑厮O(shè)計,回水不燒毀,更安全。5.設(shè)備元器件和管道等采用抗氧化器件,耐氧化,工作壽命長。6.采用空氣/氧氣兩用型氣源,應(yīng)用更廣泛。7.多級風冷冷卻,可連續(xù)穩(wěn)定工作。8.主機箱體不銹鋼。9.內(nèi)置高壓氣泵,可提供穩(wěn)定的空氣氣源輸出。10.采用同林電源,杜絕濕度影響,大大延長設(shè)備壽命。技術(shù)參數(shù)設(shè)備名稱:臭氧發(fā)生器(試驗用)設(shè)備型號:3S-T10 PRO型設(shè)備尺寸:350*220*600mm設(shè)備功率:180W臭氧產(chǎn)量:臭氧產(chǎn)量:空氣源≤4.5g/h(氣量1-10L/min);氧氣源≤10g/h(氣量0.05-5L/min)臭氧濃度:空氣源≤10mg/L,氧氣源:5-120mg/L。設(shè)備重量:13kg安裝方式:落地環(huán)境溫度:溫度0~35度環(huán)境濕度:≤80%冷卻方式:風冷現(xiàn)場圖片
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