3S-B50高純臭氧發(fā)生器是液化和儲(chǔ)存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平，它可以用作半導(dǎo)體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見，本機(jī)具有足夠的安全措施。
優(yōu)勢：
●超高純臭氧制備●臭氧濃度高于99.5%●液化池容積限制設(shè)計(jì)●安全閥設(shè)計(jì)●急停設(shè)計(jì)
產(chǎn)品特點(diǎn)● 全金屬密封臭氧液化池● 無硅膠吸附劑● 閉循環(huán)制冷機(jī)自動(dòng)控溫● 提純速度快,準(zhǔn)備時(shí)間只需30分鐘；提純1小時(shí)，能產(chǎn)出約4標(biāo)升高純臭氧氣體，可滿足大部分用戶十小時(shí)以上的生長需求● 設(shè)計(jì)緊湊● 操作簡便，即起即停● 高純臭氧應(yīng)用領(lǐng)域：化學(xué)氣相沉積（CVD），原子層沉積（ALD），氧化物生長，表面處理，粒子清潔，光刻膠去除，灰化等。臭氧輸出束流的穩(wěn)定性和持續(xù)性
日本進(jìn)口高純臭氧系統(tǒng)將臭氧生成裝置產(chǎn)生的臭氧氣體極度低溫液化后，生成99.99%濃度臭氧。可以持續(xù)供給99.99%濃度臭氧。
工作原理
臭氧應(yīng)用
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